摘要：IGBT逆变电源的应用越来越受到人们的关注，尤其是在生产纳米装置中的应用。IGBT的使用，使得产品具有高频化、小型化、精度高、效率高和重量轻等优点。频率高、电压高的大功率电源，控制系统也较复杂，这就需要不断创新。主要介绍了等离子逆变电源的构成、工作原理和关键器件的选型，并通过控制系统及温升实验进行验证，达到满意的效果。

        关键词：等离子逆变电源；纳米生产用电源；高频引弧

        中图分类号：TP23     文献标识码：A